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人工晶体生长设备
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DRT95型高温炉（纯化、退火）

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  • 商品说明

DRT95型高温炉（纯化、退火）主要技术参数

序号

名   称

参  数

备 注

1

电源

380V/50Hz/3Ф


2

变压器容量

160kVA


3

最大加热功率

140kW


4

最高加热温度

2300℃


5

温度控制精度

±0.5℃


6

工作腔尺寸

Ф950×1200


7

最大坩埚尺寸

Ф500×500


8

冷炉极限真空度

5×10ˉ3Pa


9

冷炉压升率

≤5Pa/h


10

坩埚行程

450


11

坩埚转速

0-20rpm


12

冷却水流量

250L/min


13

水压

0.15～0.25 MPa


14

进水温度

25℃±3℃


15

氩气流量

≤200L/min


16

主机最大高度

3600


17

主机重量

3000kg


18

整机重量

7000kg


 

DRT95型高温炉（纯化、退火）2.png

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